2010.1.4更新
ＳＶＦ制御部仕様（各モデル共通）
| 電源（制御電源内蔵） |
ＳＶＦＨ：AC200V(単相・３相) ＳＶＦＭ：AC100V(単相) ＳＶＦＬ：DC24V、48V（バッテリ）-- 計画中 | |||
| 制御対象 |
３相ブラシレス永久磁石同期型サーボモータ、 （ＤＣブラシモータ，誘導モータ，２相ステッピングモータ（マイクロステップ），リニアモータ，ボイスコイルモータ，リラクタンスモータ） | |||
| 制御機能 | 位置制御、速度制御、トルク制御 | |||
| 制御方式 | ソフトウェアサーボ＋転流ループ＋電流ループ | |||
| 出力相数 | ３相連続制御 | |||
| 出力制限 | 電流フィードバック､オーバヒート(モータ､ドライバ)､ゲイン調整､ トルク制御、サ−ボオフ、ダイナミックブレ−キ、正転オフ、逆転オフ | |||
| ＰＷＭキャリア周波数 | ２０ｋＨｚ(KW未満）／１５ｋＨｚ(KWクラス）、１５〜４０ｋＨｚ(可変) 注１） | |||
| 電流検出方式 | ΣΔ16ビット分解能 | |||
| 制御領域 | ４象限(回生領域は限時、または電源回生オプションによって連続) | |||
| 周囲温度・湿度 |
０〜４０℃風冷または２０％減定格により５０℃まで使用可能 １０〜８５％（結露なきこと） | |||
| 放熱フィン温度 | ８０℃ ｍａｘ(過熱カット式) | |||
| 転流 | 磁極位置の初期化 | 自動割出しでポールセンサレス／３相ポールセンサ使用／Ｚ相信号形式 | ||
| 同期転流 | 各種エンコーダによる電気角管理 | |||
| 電流制御 | ＤＱ変換ベクトル制御 | |||
| エンコーダ形式 |
２相インクリメンタルエンコーダ 各種汎用シリアルエンコーダにオプションで対応 ＳＷにてラインレシーバ／ＴＴＬシングルの切替可能 エンコーダフィルタ ０．８μｓｅｃ ｍａｘ | |||
| 指令パルス形式 |
２相インクリメンタル ＰＵＬ／ＤＩＲ、ＣＲ／ＣＣＷ、Ａ／Ｂ ＳＷにてラインレシーバ／ＴＴＬシングルの切替可能 指令パルスフィルタ ０．８μｓｅｃ ｍａｘ | |||
| 位置制御範囲 | ±２,１４７,４８３,６４７（３２ビット）内部カウント 注２） | |||
| 回生 | 回生過電圧保護内蔵，外付け回生抵抗はオプション | |||
| ダイナミックブレーキ | 主回路の３相ＩＧＢＴによるダイナミックブレーキモードで対応 | |||
| コマンド信号 | サーボオン、正転オフ、逆転オフ、ゲインロ−、速度／トルク (アナログ）、ブレーキ、リセット、運転 | |||
| 原点信号 | 原点位置、原点近傍位置 | |||
| ステータス信号 | サーボレディ，位置決完、アラームコード０， アラームコード１，アラームコード２ | |||
| ＤＩポート |
８ｂｉｔ フォトカプラ入力 通光でＯＮ、負論理入力／正論理入力（ｂｉｔごとに変更可能） ＤＣ５〜２４Ｖ １．５ｍＡ ｍｉｎ 入力フィルタ ０〜３２７６７ｍｓｅｃ | |||
| ＤＯポート |
５ｂｉｔ フォトカプラ出力 通光でＯＮ、負論理出力 ＤＣ２４Ｖ ４０ｍＡ ｍａｘ | |||
| パラメータキー | ４キー(桁選択、増、パラメータ/データ、ライト) | |||
| データ表示 | ＬＥＤ ７セグメント５桁 トルク/パラメータ／エラーコード等 | |||
| パラメータ項目 (不揮発メモリにて保存) |
モード，ゲイン，スケール，リミット，エンコーダ，モータ， サーマル等の各項目 約２００種があり，省略変更任意 | |||
| アナログモニタ | ２ｃｈのアナログ出力(標準) ０〜５Ｖ | |||
| 通信機能 |
ＲＳ２３２Ｃ (通信速度 1200/4800/9600/19200/38400bps) ホストコンピュータと通信可能 | |||
| ラインノイズ耐量 | １５００Ｖ ５００ｎｓ 注３） | |||
| 静電ノイズ耐量 | １０ＫＶ 注３） | |||
| 耐震性 | 振動０.５Ｇ、衝撃５Ｇ１回 | |||
| ＳＶＦＬ（計画中） | ＳＶＦＭ | ＳＶＦＨ | ||
| 耐電圧 （主回路-FG） | AC500Vrms、１分間 | AC1200Vrms、１分間 | AC1500Vrms、１分間 | |
| 絶縁抵抗 （主回路-FG） | DC500V，50MΩ以上 | DC500V，50MΩ以上 | DC500V，50MΩ以上 | |
| 耐電圧と絶縁抵抗の試験条件は主回路−ＦＧ間のバリスタを外しての型式試験とします。 | ||||
注１）
ＰＷＭ周波数を既定値より高域に変更する場合には、減定格が必要です。
注２）
パルス単位の場合、次式の通りエンコーダの分解能によります。
最大値[pulse] = ２，１４７，４８３，６４７ / パルス係数
パルス係数（ＫＥＮＣ）は最大速度、エンコーダ分解能により決まる内部定数です。（１〜１０００）
注３）
耐量はドライバ単体での値であり、エンコーダ等の周辺機器を含めたシステム全体で
保証するものではありません。
ＳＶＦ モデル別 特記仕様
■ベースモデル仕様
| サーボサンプリング | ８ｋＨｚ，１２５μｓｅｃ | ||
| ノッチフィルタ | オプションにて２段 | ||
| エンコーダ周波数 | 最大：２０Ｍｐｐｓ（４逓倍）、 瞬時：２５Ｍｐｐｓ、 分岐出力 | ||
| シリアルエンコーダ | オプションにて各社汎用品に対応、均等分周分岐出力付き | ||
| 転流周波数 | ４００Ｈｚ ４極１２ｋｒｐｍに相当 | ||
■ＤＳＰモデル仕様
| サーボサンプリング | １６ｋＨｚ，６２．５μｓｅｃ | ||
| ノッチフィルタ | 標準装備 ３段 | ||
| 座標補正 | エンコーダ補正，トルク補正などをオプションで対応 | ||
| エンコーダ周波数 | 最大：３２Ｍｐｐｓ（４逓倍）、瞬時：５０Ｍｐｐｓ、 均等分周分岐出力 | ||
| エンコーダ速度 （ギガ速度オプション） | シリアル：２Ｇｃｐｓ、インクリ：５０Ｍｐｐｓ、 均等分周分岐出力 | ||
| シリアルエンコーダ | オプションにて各社汎用品に対応、均等分周分岐出力付き | ||
| 転流周波数 | １２００Ｈｚ ４極３６ｋｒｐｍに相当 | ||
■ネットワークモデル仕様
| 操作機能 | ＭＯＶＯコマンド，制御変数，ロギング，多軸同期 | |
| 通信媒体 | Ethernet | 100 Base-TX (100 Mbps) |
| USB | USB 1.1 フルスピード(12Mbps) | |
■リアルタイムEthernetモデル
| 操作機能 | モーションコマンド(SERCOS, CANopenなど), ＭＯＶＯコマンド, 多軸同期 |
| 通信媒体 | EtherCAT, Ethernet/IP, SERCOS III, FieldNet, FL-Net, ... 開発予定 |
■フィールドネットワークモデル
| 操作機能 | ＭＯＶＯコマンド, 多軸 |
| 通信媒体 | CC-Link, DeviceNet, FieldBus, ... 開発予定 |
ＳＶＦ指令入力仕様
■データ入力（内部／外部）
| 制御モード | 位置、速度、加速度、力、トルク、電流 | |
| 指令データ |
言語ＭＯＶ／２、前記通信機能又はパラメ−タキ−により入出力、 ＲＳ４２２バイナリ通信、シリアルクロック同期、ネットワーク | |
| 整定精度 | ±１パルス | |
| 機能 | モード設定 |
絶対位置制御、相対位置制御、速度制御 をＳ字で加減速 加速度、力制御、トルク制御 更に同期、溜制御選択可能 オ−トチュ−ニング、ジョグ運転、原点復帰 |
| データの読み／設定 |
サ−ボオン，ブレ−キ，ゲインロ−，リセット，現在位置リセット等 位置 速度 加速度 トルクの目標値と現在値、偏差 Ｓ字加減速計画を含む全パラメ−タ，ステ−タスなど | |
■パルス列入力 注1)
| 制御モード | 位置 | |
| 指令 パルス |
ＤＳＰモデル | ３２Ｍｐｐｓ ｍａｘ（４逓倍） 注３） |
| 非ＤＳＰモデル | ２０Ｍｐｐｓ ｍａｘ（４逓倍） 注３） | |
| 形式 | TTLシングル／差動 ２相形式３モード （Ａ,Ｂ／ＣＷ,ＣＣＷ／パルス,方向） | |
| 整定精度 | ±１パルス | |
■アナログ入力（指令／検出） 注１）／注２）
| 制御モード | 位置、速度、トルク、力、２相電流（オプション） | ||
| 位置 制御 |
制御 範囲 | DSPモデル | １：±３２７６７ − １６bitA/D （内部指令時１：３００００×電子ギア） |
| 非DSPモデル | １：±８１９１ − １４bitA/D （内部指令時１：２００００×電子ギア） | ||
| 速度 制御 | 制御 範囲 | DSPモデル | １：±３２７６７ − １６bitA/D （内部指令時１：３００００） |
| 非DSPモデル | １：±８１９１ − １４bitA/D （内部指令時１：２００００） | ||
| 変動率 | 負荷変動 | ０〜１００％にて０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | |
| 電圧変動 | 定格±１０％にて±０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | ||
| 温度変動 | １００ｐｐｍ／℃（対入力フルスケ−ル） | ||
| 加速度制御 | 制御範囲 | ０.１％（対入力フルスケ−ル）オ−プンル−プ | |
| トルク制御 | 制御範囲 | ０.１％（対入力フルスケ−ル）オ−プンル−プ | |
| 力制御 （オプション） | 制御範囲 | ０.１％（対入力フルスケ−ル）力センサフィードバック | |
| ２相電流制御 （オプション） | 制御範囲 | ０.１％（対入力フルスケ−ル） | |
| 指令 入力 (CH1) | ＤＳＰモデル | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ａ／Ｄ分解能±１/３２７６７ ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）にて±３００００カウント（１６ｂｉｔＡ／Ｄ） | |
| 非ＤＳＰモデル | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ａ／Ｄ分解能±１/８１９１ ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）にて±２００００カウント（１４ｂｉｔＡ／Ｄ） | ||
| 検出 入力 (CH2) | ＤＳＰモデル | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ａ／Ｄ分解能±１/３２７６７ ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）にて±３００００カウント（１６ｂｉｔＡ／Ｄ） | |
| 非ＤＳＰモデル | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ａ／Ｄ分解能±１/８１９１ ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）にて±２００００カウント（１４ｂｉｔＡ／Ｄ） | ||
注１）
パルス指令、アナログ指令はパラメータ切り替えで使用できます。
注２）
検出入力は制御モードに応じてポテンショメータ、タコゼネ、力覚／圧力センサなどに適用できます。
注３）
パルス周波数上限値は計測理論値であり、通常のフィードバック制御ではオーバーシュートで
オーバーフローすることを配慮して上限値の７０〜８０[％]でご使用ください。
ＳＶＥ制御部仕様
| 電源（制御電源内蔵） |
ＳＶＥＨ：AC200V(単相) ＳＶＥＭ：AC100V(単相) ＳＶＥＬ：DC24V、48V（バッテリ） | |||
| 制御対象 |
３相ブラシレス永久磁石同期型サーボモータ、 （ＤＣブラシモータ，誘導モータ，２相ステッピングモータ（マイクロステップ），リニアモータ，ボイスコイルモータ，リラクタンスモータ） | |||
| 制御機能 | 位置制御、速度制御、トルク制御 | |||
| 制御方式 | ソフトウェアサーボ＋転流ループ＋電流ループ | |||
| 出力相数 | ３相連続制御 | |||
| 出力制限 | 電流フィードバック､オーバヒート(モータ､ドライバ)､ゲイン調整､ トルク制御、サ−ボオフ、ダイナミックブレ−キ、正転オフ、逆転オフ | |||
| ＰＷＭキャリア周波数 | ２５ｋＨｚ(可変) | |||
| 制御領域 | ４象限(回生領域は限時，または電源回生オプションにて連続) | |||
| 周囲温度・湿度 |
０〜４０℃風冷または２０％減定格により５０℃まで使用可能 １０〜８５％（結露なきこと） | |||
| 放熱フィン温度 | ８０℃ ｍａｘ(過熱カット式) | |||
| 転流 | 磁極位置の初期化 | 自動割出しでポールセンサレス／３相ポールセンサ使用／Ｚ相信号形式 | ||
| 同期転流 | インクリメンタルエンコーダによる電気角管理(絶対値エンコーダはオプション) | |||
| 転流周波数 | ４００Ｈｚ ４ポ−ルでは１２０００ｒｐｍ | |||
| エンコーダ | 形式 |
２相インクリメンタルエンコーダ(オプションにて絶対値エンコーダに対応) ＳＷにてラインレシーバ／ＴＴＬシングルの切替可能 | ||
| 周波数 | ２０Ｍｐｐｓ ｍａｘ（4逓倍）オプションにて３２Ｍｐｐｓ ｍａｘ（4逓倍） | |||
| 位置制御範囲 | ±２,１００,０００,０００（３２ビット） 注１） | |||
| 回生 | 回生過電圧保護内蔵，電源回生オプションにて連続 | |||
| ダイナミックブレーキ | 主回路の３相ＩＧＢＴによるダイナミックブレーキモードで対応 | |||
| コマンド信号 | サーボオン、正転オフ、逆転オフ、ゲインロ−、速度／トルク (Ａタイプ）、ブレーキ、リセット、運転 | |||
| 原点信号 | 原点位置、原点近傍位置 | |||
| ステータス信号 | サーボレディ，位置決完、アラームコード０， アラームコード１，アラームコード２ | |||
| パラメータキー | ４キー(桁選択、増、パラメータ/データ、ライト) | |||
| データ表示 | ＬＥＤ ７セグメント５桁 トルク/パラメータ／エラーコード等 | |||
| パラメータ項目 (不揮発メモリにて保存) |
モード，ゲイン，スケール，リミット，エンコーダ，モータ， サーマル等の各項目 約７０種があり，省略変更任意 | |||
| アナログモニタ | ２ｃｈのアナログ出力(標準) ０〜５Ｖ | |||
| 通信機能 |
ＲＳ２３２Ｃ (通信速度 1200/4800/9600/19200/38400bps) ホストコンピュータと通信可能 | |||
| ラインノイズ耐量 | １５００Ｖ ５００ｎｓ | |||
| 静電ノイズ耐量 | １０ＫＶ | |||
| 耐震性 | 振動０.５Ｇ、衝撃５Ｇ１回 | |||
| ＳＶＥＬ | ＳＶＥ，ＳＶＥｘＭ | ＳＶＥ，ＳＶＥｘＨ | ||
| 耐電圧（主回路-FG間） | AC500Vrms，１分間 | AC1200Vrms，１分間 | AC1500Vrms，１分間 | |
| 絶縁抵抗（主回路-FG間） | DC500V，50MΩ以上 | DC500V，50MΩ以上 | DC500V，50MΩ以上 | |
| 耐電圧と絶縁抵抗の試験条件は主回路−ＦＧ間のバリスタを外しての型式試験とします。 | ||||
注１）
次式の通りエンコーダによります。
最大値[pulse] = 21×エンコーダ分解能[pulse/rev]×てい倍×最大回転数[rpm] / 12
ＳＶＥ指令入力仕様
■データ入力
| 制御モード | 位置、速度、トルク | |
| 指令データ | 言語ＭＯＶ／２、前記通信機能又はパラメ−タキ−により入出力 | |
| 整定精度 | ±１パルス | |
| 機能 | モード設定 |
絶対位置制御、相対位置制御、速度制御 をＳ字で加減速 加速度、トルク制御 更に同期、溜制御選択可能 オ−トチュ−ニング、ジョグ運転、原点復帰 |
| データの読み／設定 |
サ−ボオン，ブレ−キ，ゲインロ−，リセット，現在位置リセット等 位置 速度 加速度 トルクの目標値と現在値、偏差 Ｓ字加減速計画を含む全パラメ−タ，ステ−タスなど | |
■パルス列入力（Ｐタイプ）
| 制御モード | 位置 |
| 指令パルス | ２０Ｍｐｐｓ ｍａｘ （オプションにて２８Ｍｐｐｓ ｍａｘ（４逓倍）） |
| 形式 | TTLシングル／差動 ２相形式３モード （Ａ,Ｂ／ＣＷ,ＣＣＷ／パルス,方向） |
| 整定精度 | ±１パルス |
■アナログ入力（Ａタイプ）
| 制御モード | 速度、トルク | ||
| 速度制御 | 制御範囲 | １：４０９６ − １２bitA/D （内部指令時１：２００００） | |
| 変動率 | 負荷変動 | ０〜１００％にて０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | |
| 電圧変動 | 定格±１０％にて±０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | ||
| 温度変動 | １００ｐｐｍ／℃（対入力フルスケ−ル） | ||
| トルク制御 | 制御範囲 | ０.１％（対入力フルスケ−ル）オ−プンル−プ | |
| 指令電圧 | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ａ／Ｄ経由でサンプリング分解能±１/２０４７ | ||
ＳＶＤ制御部仕様
ＳＶＤシリーズは生産終了品です。
| 制御電源DC+5V | 4.75〜5.21V 1.3A, エンコーダ電源(250mA)を含む |
| 制御対象 |
３相ブラシレス永久磁石同期型サーボモータ （ＤＣオプション及びＳＶＹ： ＤＣサーボモータ） （その他オプションにて、ＩＭ、ＡＣリニア、ＤＣリニアに対応） |
| 制御機能 | 位置制御、速度制御、トルク制御 |
| 制御方式 |
ＡＣモータ制御：ソフトウェアサーボ＋転流ループ＋電流ループ ＤＣモータ制御：ソフトウェアサーボ＋電流ループ（ＳＶＹは電流ループなし） |
| 出力相数 | ３相連続制御（ＡＣモータ仕様の場合） |
| 出力制限 |
電流フィードバック（ＳＶＹを除く）､オーバヒート(モータ､ドライバ)､ゲイン調整､トルク制御、サ−ボオフ、ダイナミックブレ−キ（ＳＶＮを除く）、正転オフ、逆転オフ |
| ＰＷＭキャリア周波数 |
ＳＶＤＭ：２５ｋＨｚ ＳＶＤＨ(単相タイプ)：２５ｋＨｚ ＳＶＤＬ：２５ｋＨｚ ＳＶＤＨ(３相タイプ)：１５ｋＨｚ ＳＶＮ：ノンスイッチング・リニアアンプ |
| 制御領域 | ４象限(回生領域は限時、または,回生オプションにて連続) |
| 周囲温度 | ０〜４０℃ 風冷または２０％減定格により５０℃まで使用可能 |
| 放熱フィン温度 | ７０℃ ｍａｘ(過熱カット式) |
| 磁極位置の初期化 | 自動割出しでポールセンサレス／３相ポールセンサ使用／Ｚ相信号形式（ＡＣモータ仕様の場合） |
| 同期転流 | インクリメンタルエンコーダによる電気角管理（ＡＣモータ仕様の場合） |
| 転流周波数 | ４００Ｈｚ（４ポ−ルでは１２０００ｒｐｍ）（ＡＣモータ仕様の場合） |
| エンコーダ形式 | ２相インクリメンタルエンコーダ ラインドライバ／ＴＴＬシングル |
| エンコーダ周波数 |
１５.９９Ｍｐｐｓ ｍａｘ(４逓倍)（１９.９９Ｍｐｐｓオプション） （ＳＶＹは４Ｍｐｐｓ） |
| 位置制御範囲 | ±２,１００,０００,０００（３２ビット） |
| 回生 |
回生過電圧保護内蔵，回生吸収器はオプション （ＳＤＶＨ３相タイプは回生吸収器を内蔵。ＳＶＮ、ＳＶＹは回生吸収器接続不可。） |
| ダイナミックブレーキ | 主回路のトランジスタによるダイナミックブレーキモードで対応 （ＳＶＮを除く） |
| コマンド信号 | サーボオン，正転オフ，逆転オフ，ゲインロ−、速度／トルク(Ａタイプ），ブレーキ（ＳＶＮを除く），リセット，運転 |
| 原点信号 | 原点位置、原点近傍位置 |
| ステータス信号 | サーボレディ，位置決完、アラームコード０，アラームコード１，アラームコード２ |
| パラメータキー | ４キー(桁選択、増、データ/パラメータ、ライト) (ＳＶＹは除く) |
| データ表示 | ＬＥＤ ７セグメント４桁 (ＳＶＹは１桁) トルク/パラメータ／エラーコード等 |
| アナログモニタ | ４チャネル アナログモニタ （＊オプション） |
| 通信機能 |
ＲＳ２３２Ｃ (1200/4800/9600/19200/38400bps)ホストコンピュータと通信可能 （ＳＶＹは4800bpsまで） |
| ラインノイズ耐量 |
１５００Ｖ ５００ｎｓ コモンモ−ド、ノ−マルモ−ド （ＳＶＹは、５００Ｖ ５００ｎｓ） |
| 静電ノイズ耐量 |
５０００Ｖ （ＳＶＹは、５００Ｖ） |
| 環境周囲温度 | ０〜４０℃、振動０.５Ｇ、衝撃５Ｇ１回 |
ＳＶＤ指令入力仕様
ＳＶＤシリーズは生産終了品です。
■データ入力
| 制御モード | 位置、速度、加速度、トルク |
| 指令データ |
言語：ＭＯＶ／１ 前記通信機能又はパラメ−タキ−により入出力 |
| 整定精度 | ±１パルス |
| モード設定 |
絶対位置制御、相対位置制御、速度制御 をＳ字で加減速 加速度、トルク制御 更に同期、溜り制御選択可 オ−トチュ−ニング、ジョグ運転、原点復帰 |
| コマンド | サ−ボオン、ブレ−キ、ゲインロ−、リセット、現在位置リセット等 |
| データの読み／設定 | 位置 速度 加速度 トルクの目標値と現在値、偏差、Ｓ字加減速計画を含む全パラメ−タ、ステ−タスなど |
■パルス列入力（Ｐタイプ）
| 制御モード | 位置 |
| 指令パルス |
１５.９９Ｍｐｐｓ ｍａｘ(２逓倍) （１９.９９Ｍｐｐｓオプション） （ＳＶＹは４Ｍｐｐｓ ｍａｘ(２逓倍)） |
| 形式 |
ＴＴＬシングル ２相形式３モード （Ａ､Ｂ／ＣＷ､ＣＣＷ／パルス､方向） （ＳＶＹはパルス､方向のみ） |
| 整定精度 | ±１パルス |
■アナログ入力（Ａタイプ）
| 制御モード | 速度、トルク | ||
| 速度制御 | 制御範囲 | １：５０００ | |
| 変動率 | 負荷変動 | ０〜１００％にて０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | |
| 電圧変動 | 定格±１０％にて±０.０５％以下（対入力フルスケ−ル） | ||
| 温度変動 | １００ｐｐｍ／℃（対入力フルスケ−ル） | ||
| トルク制御 | 制御範囲 | ０.３％（対入力フルスケ−ル）オ−プンル−プ | |
| 指令電圧 | ＤＣ±１０Ｖ（Ｆ.Ｓ）Ｖ／Ｆ経由でサンプリング直線性１％（Ｆ.Ｓ） | ||
■ＰＬＬ制御仕様（Ｓタイプ）
| 制御モード | 位置、速度（パラメータにて選択可） |
| 指令パルス | １５.９９Ｍｐｐｓ ｍａｘ(２逓倍) （１９.９９Ｍｐｐｓオプション） |
| 形式 | ＴＴＬシングル ２相形式（パルス､方向） |
| ＰＬＬ制御分解能 | ±１２５ｎｓ または ±１／１００パルス区間 |
| ＰＬＬ制御範囲 | １０ｐｐｓ注２〜１９.９９Ｍｐｐｓ（０〜１ｋｐｐｓはパルス単位制御） |